Halbleiterfertigung

Das automatische Handling von Wafern erfordert spezielle Kenntnisse der Fertigungstechnologie und entsprechende Produkte. Hirata Engineering Europe bietet hierfür eine breite Palette an standardisierten Reinraumrobotern, EFEMs, FOUP opener, Prealigner inklusive Controller und Software an. Diese Komponenten und Geräte sind für die höchste Reinraumklasse ausgelegt und erfüllen die hohen Ansprüche in der Waferfertigung.