Reinraumroboter

Die Reinraum-Roboter basieren auf Hirata´s langen und eingehenden Erfahrungen in der Robotertechnologie und können einfach und sehr effizient in automatisierte Systeme integriert werden. Diese Roboter entsprechen den verbindlichen SEMI-Standards.

  • Schmale Bauform:
    Dadurch werden die laminaren Luftströmungen im Reinraum nicht gestört.
  • Optimale Bewegungseigenschaften:
    Diese ermöglichen einen höheren Durchsatz.
  • Optionaler Wafer-Wender:
    Damit ist auch die Bearbeitung der Wafer-Unterseite möglich.
  • Wartungsarmer Roboterarm:
    Kein ölen oder schmieren, geringe Wartungskosten

Atmospheric type robot AR-Wn230CL

Atmospheric type robot AR-Wn180CL

High-Vacuum type robot AR-Wn Series

AR-Wn180CL-5-TR-940

Vacuum type robot AR-Wn Series

EFEM

Die EFEMs - Equipment Front End Module von Hirata sind komplette Handhabungseinheiten bestehend aus Einhausung, Reinraumrobotern, Prealigner und Loadports. Sie können kundenspezifisch an verschiedene Prozessmodule der Waferfertigung angepasst werden.

  • Hoher Durchsatz
  • Kompakter Aufbau
  • Zertifiziert durch ISMI 2009

450 mm - 4 Port

450 mm - 3 Port

450 mm - 2 Port

300 mm - 4 Port

300 mm - 2x2 Port

300 mm - 2 Port

Prealigner

Prealigner ermöglichen das Ausrichten der Wafern. Sie zentrieren diese, ermitteln die genaue Orientierung und richten die Wafer exakt aus.

  • Berührungslos und sensorgesteuert
  • Sehr schnelle und hoch präzise Orientierung von Standard- und Notch-Wafern
  • Wafer-Größen wählbar: 6", 8", 12" und 8"/12" anwählbar

450 mm Prealigner

300/200 mm Prealigner

200/150 mm Prealigner

300 mm edge grip Prealigner

FOUP

Zum sicheren und einfachen Öffnen und Verschließen von FOUPs (Front Opening Unified Pods) und FOSBs (Front Opening Shipping Boxes) für den Wafertransport innerhalb und außerhalb von Reinräumen.

  • Sicheres und einfaches Öffnen von FOUPs und FOSBs
  • Integrierte Mapping-Funktion
  • Wafergrößen: 8" und 12"